英飞凌实现三百毫米碳化硅功率芯片

一、300毫米碳化硅晶圆做出可用器件

2026年11月9日,德国半导体公司英飞凌(InfineonTechnologies)宣布,已在其奥地利菲拉赫(Villach)工厂用300毫米碳化硅(SiC)晶圆制造出功能正常的功率器件,所用设备为现有的硅芯片制造设备。公司称,这是业内首次在全规模量产级制造环境中完成300毫米碳化硅器件的验证,标志着这项工艺从实验室走向了可制造的阶段。碳化硅是一种宽禁带半导体材料,能够以更低的损耗开关高电压与大电流,广泛用于电动汽车、充电桩、光伏逆变器与工业电源。英飞凌估算,改用300毫米晶圆后,每片晶圆可切出的芯片数量约为200毫米晶圆的2.3倍,这是该公司给出的数据,尚未经过独立验证。

二、晶圆尺寸升级的产业逻辑

晶圆越大,同一片上能切出的芯片越多,单颗芯片分摊的制造成本就越低,这是半导体行业几十年不变的算术题。但碳化硅比硅更硬、更脆,加工难度大得多,从200毫米跨到300毫米,涉及晶体生长、切割、减薄、缺陷控制等一连串工艺难题,业界为此努力多年。英飞凌同时披露,已在德国德累斯顿(Dresden)验证了300毫米碳化硅的冷切割(ColdSplit)工艺,为后续的晶圆减薄环节铺路。公司计划从11月10日起在慕尼黑电子展(electronica)上展出这片加工完成的碳化硅晶圆。需要提醒的是,这次宣布的是工艺可行性验证,不是量产启动:英飞凌没有公布每片晶圆的制造成本,也没有给出新工艺扩大规模的时间表。就在10月27日,公司刚刚宣布投资11亿欧元,在菲拉赫建设300毫米氮化镓(GaN)量产线,两件事要分开看,不能混为一谈。

三、功率半导体的成本竞赛

电动汽车与可再生能源的扩张,正在把功率半导体推向成本竞赛的前台:谁能把碳化硅芯片做得更便宜,谁就能在电动车电驱、快充桩与光伏逆变器的订单争夺中占到先手。英飞凌选择在自家硅产线设备上验证碳化硅工艺,意图很明确——少建新厂、少买专用设备,用存量资产摊薄新工艺的成本。但从验证到量产还有很长的路要走,良率、成本与客户认证缺一不可,任何一环掉链子都会拖慢节奏。对中国产业链而言,碳化硅同样是新能源汽车供应链的关键环节,海外大厂的每一次工艺突破,都会传导为国内厂商的成本压力。晶圆尺寸的竞赛说到底是成本的竞赛,英飞凌这一步走得扎实,但量产的哨声还没有吹响。

信源跟踪: 英飞凌 | 数据时间: 北京时间2026年11月9日

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